微型氣體質(zhì)量流量控制器是專門為各類小流量氣體的測(cè)量和控制而設(shè)計(jì)的。該系列的傳感器均采用先進(jìn)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，結(jié)合數(shù)字信號(hào)處理技術(shù)和流量控制算法，實(shí)現(xiàn)對(duì)各類氣體流量大小的精準(zhǔn)控制和智能化處理。

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產(chǎn)品詳情

一，產(chǎn)品介紹

微型氣體質(zhì)量流量控制器是專門為各類小流量氣體的測(cè)量和控制而設(shè)計(jì)的。該系列的傳感器均采用先進(jìn)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，結(jié)合數(shù)字信號(hào)處理技術(shù)和流量控制算法，實(shí)現(xiàn)對(duì)各類氣體流量大小的精準(zhǔn)控制和智能化處理。

應(yīng)用領(lǐng)域：航空航天、半導(dǎo) 體加工、醫(yī)療生物、電子汽車、鋼鐵冶金、船舶電子、工業(yè)制氣等行

業(yè)。

二，產(chǎn)品特點(diǎn)

采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片，旁路分流器和電磁比例閥設(shè)計(jì)而成，傳感器具有高精度，抗干擾性強(qiáng)特點(diǎn) ，分流器的旁路流體成層流狀態(tài)，從而使測(cè)量和控制更加穩(wěn)定和精準(zhǔn)。電磁比例閥具有使用壽命長(zhǎng)，靈敏度高等特點(diǎn)。

★ 傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定。

★ 量程范圍內(nèi)精度高，重復(fù)性好。

★ 響應(yīng)時(shí)間快。

★ 標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口，安裝方便。

★ RS485通訊輸出，標(biāo)準(zhǔn)MODBUS RTU協(xié)議。

★ 采用LCD顯示瞬時(shí)流量和累計(jì)流量，清晰直觀，讀數(shù)方便，可通過按鍵輸入控制流量，在液晶屏上直接顯示控制流量和實(shí)時(shí)流量值

★ 標(biāo)配4-20mA 輸入輸出控制。

★ 可定制0-5V 或者0-10V 輸入輸出控制
三，技術(shù)參數(shù)

工作電源	DC24V/6W
精度(%)	控制精度： ±1.0% SP，測(cè)量精度0-50L/min 1%fs 大于50L/min 1.5fs%
控制和測(cè)量量程比	1： 100
閥類型	常閉型
工作溫度	-10~55℃
濕度	<95%RH(無結(jié)霜，無結(jié)冰)
工作壓力范圍	測(cè)量：0-1.5MPA 控制： 100SCCM-30SPLM 壓力：0.1-1.0MPA 100SPLM 壓力：0.1-0.65MPA 300SPLM 壓力：0.1-0.5MPA
典型的控制響應(yīng)時(shí)間	小于1S （T90）

測(cè)量響應(yīng)時(shí) 間	<50mS
輸出方式	4-20mA 或者1-5V
通訊方式	RS485(Modbus Rtu協(xié)議)
控制方式	按鍵操作,Modbus,4-20mA(1-5V)，可定制0-5V
機(jī)械連接	G1/4, PT1/2 內(nèi)螺紋
防護(hù)等級(jí)	IP40

備注：以上數(shù)據(jù)為在25℃ , 101.32kPa,干燥空氣下測(cè)得其他特性

可選擇標(biāo)況溫度條件	0°, 20°, 25°,用戶可調(diào)，默認(rèn) 25°
可選擇氣體類型	Air, N2, O2, CH4, Ar, CO2, He, H2 ，C3H8
工作壓差	50 SPLM 0.1MPA -0.7MPA 100SPLM 0.1MPA-0.6MPA 300SPLM 0.1MPA -0.4MPA

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